高純氣體(Purified Gases)氣體工業(yè)名詞,通常指使用現(xiàn)代提純技能能達(dá)到的某個等級純度的氣體。
概述
高純氣體關(guān)于不同類別的氣體,純度目標(biāo)不同,例如關(guān)于氮,氫,氬,氦而言,通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體;而關(guān)于氧氣,純度為99.99%即可稱高純氧;關(guān)于碳?xì)浠衔?,純度?9.99%的即可認(rèn)為是高純氣體。高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域極寬,在半導(dǎo)體工業(yè),高純氮、氫、氬、氦可作為運載氣和保護氣;高純氣體可作為配制混合氣的底氣。
高純氣體根據(jù)分子結(jié)構(gòu)的不同能夠分為有機高純氣體,和無機高純氣體
有機高純氣體
烷烴類:
甲烷、乙烷、丙烷、環(huán)丙烷、正丁烷、異丁烷、正戊烷、新戊烷、氯甲烷、氯乙烷、三氟甲烷、環(huán)氧乙烷、砷烷、磷烷、硼烷、硅烷等;
烯烴類:
乙烯、丙烯、丙二烯、1-丁烯、異丁烯、反-2-丁烯、順-2-丁烯、1.2-丁二烯、1.3-丁二烯、氯乙烯等;
炔烴類:
乙炔、1-丁炔、2-丁炔、甲基乙炔、乙烯基乙炔等;
其他:
二甲醚、甲硫醇、熏蒸劑等
無機高純氣體he
1、空氣、氫氣、氧氣、氮氣、氬氣、氦氣、氖氣、氪氣、氙氣等;
2、氨氣、氯氣、二氧化硫、一氧化碳、二氧化碳、二氧化氮、氧化亞氮、氧硫化碳、氯化氫、溴化氫、硫化氫等;
3、三氟化硼、三氯化硼、四氟化碳、四氟化硅、 四氯化硅、六氟化硫等
常見高純氣體的用途
環(huán)氧乙烷可用作生產(chǎn)增塑劑、潤滑劑等;
氯甲烷是重要的甲基化劑,還可作致冷劑、發(fā)泡劑等;
氯乙烷可用作煙霧劑、冷凍劑、汽油抗震劑、部分麻醉劑;
二甲醚可作噴氣推進劑、制冷劑、麻醉劑;甲硫醇用于合成染料、醫(yī)藥、農(nóng)藥;
乙炔可直接用于金屬切割焊接、原子吸收;乙烯基乙炔主要作為氯丁橡膠原料等
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