高純氧用于二氧化硅的化學氣相沉積；作為氧化源與產生高純水的反應劑；干法氧化；與四氟化碳混合，用于等離子刻蝕。高純氧氣廠家?guī)懔私飧啵?/span>

高純氧氣時應注意安全，做好防震、防火、防熱、防油等工作。高純氧氣能助燃，應放在陰涼處，嚴禁接近煙火和易燃物；不可在氧氣表螺旋口上抹油；高純氧氣鋼瓶壓力很高，搬運時避免傾倒、撞擊，以防止爆炸。

高純氣體對于不同類別的氣體，純度指標不同，例如對于氮，氫，氬，氦而言。

工業(yè)氧氣一般僅要求含氧純度，對其它衛(wèi)生條件等無特別要求，同時，它還含有超標的一氧化碳、甲烷等有害氣體，水分、細菌和灰塵含量也很高，工業(yè)氧氣主要用于焊接、氣焊、氣割等。

工業(yè)氧是用于工業(yè)生產及產品加工的氣體，質量要求較低一般要求純度在99%以上為合格。灌裝規(guī)程不如醫(yī)用氧氣嚴格，常常會有水分和其他雜質混入并且殘留在鋼瓶氧氣鋼瓶中，混入和殘留在鋼瓶中的水份會導致氧氣瓶內壁銹蝕，從而使瓶內氣體帶有異味。

氧氣是空氣的組分之一，無色、無嗅、無味。氧氣密度比空氣大，在標準狀況（0℃和大氣壓強101325帕）下密度為1.429克/升。大規(guī)模生產氧氣的方法是分餾液態(tài)空氣 ，首先將空氣壓縮，待其膨氧脹后又冷凍為液態(tài)空氣，由于稀有氣體和氮氣的沸點都比氧氣低，經過分餾，剩下的便是液氧，可貯存在高壓鋼瓶中。

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